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干式真空泵怎么在各个行业中进行优化选择
来源: | 作者:gzdianxin | 发布时间: 2019-09-06 | 181 次浏览 | 分享到:

    干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,在这里着重讲下干式真空泵怎么进行优化选择?

  对于这些不同类型的干式真空泵,我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。

当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。

而想要改变真空泵的转速有两种方法,一是改变电源的频率,即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。

其中,采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单一转速。

  现在,可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。

一直以来,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。

为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

  综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。

但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你最好的选择。

  根据具体情形,综合以上所有设计类型的优点一定是最理想的选择,但目前还不太可能。

因此,这就要求使用者首先要知道在干式泵的设计上有着如此多的不同设计类型,进而根据自身工艺特点了解各种不同类型泵的设计对其影响。这样做出的选择才能够尽可能降低其使用成本,而获得一个寿命较长的稳定的真空系统。


干式真空泵的工作原理:

  1、干式螺杆真空泵

  干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

  2、无油往复真空泵

  靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵,又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时,吸气管接被抽真空容器,排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。

  3、爪式真空泵

  爪式真空泵由多级转子构成,其中每级都有2个转子构成,两个转子反方向旋转,吸气口与泵腔接通,泵腔容积变大而吸气,当转子关闭吸气口时吸气结束,以后泵腔变小而压缩气体,当排气口打开后泵腔排气,排气口关闭时则排气完毕,如此循环工作。

  4、无油涡旋真空泵

  涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。